В.С. Нехорошева, Ю.В. Казакова, С.В. Сидорова. Формирование наноструктурированных покрытий методом термического испарения в вакууме

Страницы: 42-48

Авторы:

Нехорошева В.С. – учащаяся, ГБОУ Школа № 1862, Москва

Казакова Ю.В.

кандидат педагогических наук, учитель физики, ГБОУ Школа № 1862, Москва

Сидорова С.В.

кандидат технических наук, доцент кафедры «Электронные технологии в машиностроении» (МТ-11), МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва

Ключевые слова: метод термического испарения, наноструктура, островковые тонкие пленки

Аннотация:

Работа, описываемая в данной статье, была выполнена на кафедре «Электронные технологии в машиностроении» (МТ-11), МГТУ им.Н.Э. Баумана

Литература:

1.      Панфилов Ю.В. Конспект лекций по курсу «Элионные процессы и нанотехнологии»

2.      http://kirensky.ru/ru/info/study/dop/vak

3.      https://domashke.net/referati/referaty-po-kommunikacii-i-svyazi/otchet-po-praktike tehnologicheskie-processy-mikrosborki-plat

4.      https://www.techeiscatel.ru/index.php/library/lection/180-metody-termicheskogo-ispareniya